金融界2025年8月15日音讯，国家知识产权局信息数据显现，武汉衡惯科技发展有限公司请求一项名为“一种晶圆级封装MEMS惯性器材的制造的进程”的专利，公开号CN120483036A，请求日期为2025年07月。

  专利摘要显现，本发明触及一种晶圆级封装MEMS惯性器材的制造的进程，包含S1，制造上外表具有若干凹槽的衬底层晶圆，并在衬底层晶圆的上外表键合器材层晶圆；S2，对器材层晶圆进行减薄和图画化处理，得到可动灵敏结构，可动灵敏结构包含加速度计结构和陀螺仪结构；S3，向可动灵敏结构填充献身资料，在献身资料上成长介质薄膜层；S4，开释献身资料以于介质薄膜层与衬底层晶圆之间构成加速度计结构空腔和陀螺仪结构空腔；S5，将加速度计结构空腔制造为氮气腔室以及将陀螺仪结构空腔制造为真空腔室。

  天眼查资料显现，武汉衡惯科技发展有限公司，成立于2021年，坐落武汉市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。经过天眼查大数据分析，武汉衡惯科技发展有限公司产业线条，此外企业还具有行政许可1个。